主要產(chǎn)品
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半導體設備前端模塊EFEM
應用場景：廣泛應用于半導體芯片制造與封裝、硅片制造行業(yè)核心工藝制程設備的前端模塊，與工藝機臺搭配使用，對晶圓進行上下料搬運?？筛鶕?jù)產(chǎn)能與工藝要求，配置不同Port數(shù)量和功能，并可配置E84模塊，可與廠內(nèi)天車系統(tǒng)進行對接
產(chǎn)品特點
– 高潔凈度，高信賴性
– 高傳輸速度
– 高重復定位精度
– N?Purge系統(tǒng)，防腐蝕
– 快速設置
核心技術
– 高潔凈度控制技術、凈化設計技術
– 平穩(wěn)快速搬運振動抑制技術
– 耐腐蝕性技術
– N? Purge技術
– 腐蝕氣體強制排氣技術
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