應用場景:廣泛應用于半導體芯片生產、封裝、硅片制造行業(yè)等潔凈環(huán)境下的物料搬送系統,可實現工藝設備(EQ)、晶圓盒空中緩存(OHB)、晶圓盒存儲庫(Stocker)之間的物料高效、智能搬送
產品特點
– 全面的防撞與安全連鎖
– 高效的動態(tài)路徑算法
– 高負載、高速度
– 高性能振動抑制與平穩(wěn)運行
核心技術
– 自主開發(fā)的動態(tài)路徑算法
– 高速高精度走行控制技術
– 軌道匯合點防撞技術
– 抑制振動與Particle技術