產品特點
– 檢測缺陷同時量測膠體尺寸
– 高解析度成像, 檢測精度微米級
– 膠體3D測量(可選)
– 路徑規(guī)化,自適應基板翹曲
核心技術
– 高效照明技術,有效檢出透明膠體中的缺陷;
– 自動路徑規(guī)劃技術
– 高分辨率圖像的高速采集與處理技術
– 高精度平臺設計和控制技術
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