主要產(chǎn)品
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產(chǎn)品特點
– 采用固體激光器，運行穩(wěn)定，維護費用低
– 可對應4~8 英寸晶圓清洗，支持載臺更換
– 多家客戶清洗驗證，清洗低損傷、高良率
– 可監(jiān)控激光器狀態(tài)，確保加工品質(zhì)一致
– 支持Flat、PSS外延結構LED 清洗作業(yè)
核心技術
- 特定的脈寬控制，汽化Ga的同時避免破壞發(fā)光層
- 可視化編輯清洗位置
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