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產(chǎn)品特點(diǎn)

– 轉(zhuǎn)移精度微米級(jí)，光斑尺寸毫米級(jí)

– 運(yùn)動(dòng)平臺(tái)XY軸重復(fù)定位精度納米級(jí)

– 光學(xué) Mask 旋轉(zhuǎn)設(shè)計(jì)，可調(diào)整光斑方向

– 上下平臺(tái)水平可自動(dòng)調(diào)整，調(diào)整精度微米級(jí)

– 供體平臺(tái)可對(duì)應(yīng) 4&6英寸晶圓或者載板

– 受體運(yùn)動(dòng)平臺(tái)支持基板470*370mm基板

核心技術(shù)

- 自主設(shè)計(jì)光路系統(tǒng)

- 客制化光斑尺寸

- 高精度運(yùn)動(dòng)對(duì)合平臺(tái)

- 在線光斑分析

- 精準(zhǔn)的轉(zhuǎn)移間距控制