主要產(chǎn)品
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潔凈搬運(yùn)機(jī)器人
應(yīng)用場景：可應(yīng)用于LCD、OLED、Mini/Micro LED等顯示行業(yè)各類核心工藝制程的基板潔凈搬運(yùn)
產(chǎn)品特點
– 模塊化設(shè)計
– 標(biāo)準(zhǔn)化接口
– 輕量化設(shè)計
– 高潔凈度密封設(shè)計
– 高速、高精度、潔凈搬運(yùn)
– 多枚基板同時處理，節(jié)省Tact Time
核心技術(shù)
– 大型基板搬運(yùn)振動抑制
– 高潔凈度密封、凈化設(shè)計
– 基于位置反饋的變加速控制
– 故障診斷與預(yù)測
– 高精度精密加工、組裝工藝與檢測
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